KLAコーポレーション(KLA Corporation)
カリフォルニア州ミルピタスに本社を置く米国の設備投資会社
半導体業界やその他の関連ナノエレクトロニクス業界向けにプロセス制御および歩留まり管理システムを提供している。
同社の製品とサービスは、研究開発から最終量産まで、ウェーハ、レチクル、集積回路(IC)、パッケージング製造のあらゆる段階を対象としている。
収益 98.1億米ドル(2024年)
営業利益 33.5億米ドル(2024年)
純利益 27.6億米ドル(2024年)
総資産 154億米ドル(2024年)
総資本 33.7億米ドル(2024年)
従業員数 約 15,000人 (2024年)
KLA Corporation は、1997 年に半導体装置および歩留まり管理システム業界の 2 社
純利益 27.6億米ドル(2024年)
総資産 154億米ドル(2024年)
総資本 33.7億米ドル(2024年)
従業員数 約 15,000人 (2024年)
KLA Corporation は、1997 年に半導体装置および歩留まり管理システム業界の 2 社
KLA Instruments
Tencor Instruments
の合併により
KLA-Tencor
として設立された。
この合併は、チッププロセスおよび診断装置の単一ソースを作成することを目的としていた。
KLA Instruments は、1975年に
Ken Levy
Bob Anderson
によって設立され、チップの欠陥を識別するためのフォトマスク検出に重点を置いていた。
KLA は後に製品ラインを拡大し、ウェーハ検査、ウェーハ計測、統合検査および分析ソフトウェアを追加した。
Tencor は、1976 年にチェコの科学者で米国移民の
Karel Urbanek
が同僚の
John Schwabacher
とともに設立した。
当初、同社は半導体フィルム層の厚さの正確な測定に重点を置いてい。
1984 年には粒子やその他の汚染を検出するレーザースキャン技術を開発した。
合併当時、両社の合計収益は10億ドルを超えていた。
1998年2月、KLA-Tencorは、ウェーハの形状と厚さの測定に高度な干渉技術を使用していたドイツのフライブルクに拠点を置く
Nanopro GmbH
を買収した。
4月には、半導体製造などの用途に走査型電子顕微鏡(SEM)システムを提供するマサチューセッツ州ベッドフォードに拠点を置く
Amray, Inc.
を買収した。
6月には、画像アーカイブおよび検索システムの開発会社であるカリフォルニア州サンノゼに拠点を置く
VARS
を買収した。
11月には、KLA-Tencorはオハイオ州ソロンに拠点を置く計測機器会社
Keithley Instruments
から酸化物モニタリング製品の
Quantoxライン
を買収た。
12月には、 Uniphase Corporationの子会社
Ultrapointe
を買収した。
1999年12月、同社は台湾に拠点を置く歩留まり解析ソフトウェアメーカー
ACME Systems
を買収した。
2000年2月、KLA-Tencorはテキサス州オースティンに拠点を置くリソグラフィーモデリングおよび分析ソフトウェアの開発会社
Finle Technologies, Inc.
を買収した。
3月には、同社はテキサス州オースティンに拠点を置く高度プロセス制御(APC)ソフトウェア開発会社
Fab Solutions
を親会社ObjectSpaceから買収した。
2001年に同社は歩留まり管理およびプロセス制御会社である
Phase Metrics, Inc.
を買収した。
2004年にKLA-Tencorは表面検査システムメーカー
Candela Instruments, Inc.
Inspex, Inc.
のウェーハ検査システム事業を買収した。
2006年に同社はシリコンウェーハ計測機器および関連機器のサプライヤーである
ADE Corporation
を買収した。
2007年、KLA-Tencorはリソグラフィーおよびプラズマエッチング製品メーカーの
OnWafer Technologies
温度監視会社
SensArray Corporation
プロセス制御および計測会社
Therma-Wave Corporation
を買収した。
2008年に同社は試験計測会社
ICOS Vision Systems Corporation NV
を買収した。
また、Vistec Semiconductor Systems, Inc.の
Microelectronic Inspection Equipment (MIE)事業部門
を買収した。
2010年にKLA-Tencorはテクノロジーハードウェア企業
Ambios Technology, Inc.
を買収した。
2014年に同社は計算リソグラフィーおよび検査会社である
ルミネセント・テクノロジーズ社
を買収した。
同社は2017年に光学プロファイリング・検査会社
ゼータテクノロジーズ株式会社
を買収した。
2018年、KLA-Tencorは
Keysight Technologies
からNano Indenter製品ラインを買収した。
同社はまた、Nanomechanics Inc.とMicroVisionも買収した。
2018年3月、KLA-Tencorはイスラエルのヤブネに拠点を置く自動光学検査装置ベンダーの
Orbotech
を約34億ドルで買収する契約を発表した。
Orbotechはまた、英国ウェールズのニューポートに拠点を置く
SPTS Technologies Ltd
を所有していた。
同社はMEMS、先進パッケージング、LED、高速RF、電力管理デバイス向けのエッチング、PVD、CVDウェーハ処理装置の製造会社である。
2019年1月10日、KLA-Tencorは社名を
KLA Corporation
に変更すると発表した。
2月には、同社はOrbotechの買収が完了したと発表した。
社名変更は2019年7月に発効した。
6月、KLAはミシガン州アナーバーに第2の米国本社を開設する計画を発表した。
この施設は2021年夏にオープンする予定で、500〜600人の新規採用者を迎え入れる計画で、そのうち約50%はエンジニアとなる予定である。
報道によると、この施設はミシガン大学と関係を持ち、自動車業界とのパートナーシップをサポートする予定である。
同社は2021年7月に自動車用チップの新しい検査製品を導入した。
11月にはKLAの新しい北米本社がミシガン州アナーバーにオープンした。
この施設は23万平方フィートで、1,000人の従業員をサポートするように設計されている。
2008年1月、KLAは同社と一部の幹部がストックオプションの付与を違法に遡及させたとの疑惑を和解させるために6500万ドルを支払った。
米国証券取引委員会は「KLAは報告した財務結果を大幅に水増しし、投資家から同社の報酬費用と財務実績に関する正確な情報を奪った。このような行為は許されないと警告された後でも、上場企業がこのような不正行為に手を染めることは特に問題である」と批判した。
KLA財団(旧称KLA-Tencor財団)は同社の慈善部門であり、2000年に設立されました。
KLA財団は、ミルピタス学区、アメリカ赤十字社、シリコンバレー・リーダーシップ・グループのCOVID-19支援連合への寄付など、KLAの従業員が住む世界中のコミュニティを支援し、利益をもたらしている。
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